叔丁基亚氨基三(二甲基氨基)钽(V)（CAS号：69039-11-8）

一、基本性质

1. ‌化学组成‌

• ‌分子式‌：C₁₀H₂₇N₄Ta，分子量约384.30‌12。

• ‌别名‌：叔丁基亚胺基三(二甲基氨基)钽、(TERT-BUTYLIMINO)TRIS(DIMETHYLAMINO)TANTALUM‌12。

2. ‌物理性质‌

• ‌外观‌：通常为固体，具体形态未明确描述‌3。

• ‌溶解性‌：易溶于有机溶剂（如异丙醇/己烷混合溶液）‌1。

二、应用领域

1. ‌薄膜材料制备‌

• 作为化学气相沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）前驱体，用于制备氮化钽（TaN）或氧化钽（Ta₂O₅）薄膜，应用于电子元件介电层和光学涂层‌13。

2. ‌催化与合成‌

• 在有机金属反应中作为催化剂或中间体，参与合成含钽功能材料‌35。

三、安全与储存

1. ‌储存条件‌

• 需避光、密封保存于阴凉环境，部分产品以溶液形式储存‌13。

2. ‌危险性‌

• 具有腐蚀性，操作时需佩戴防护装备（手套、护目镜），避免直接接触‌

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