基础参数

品名：钽锆合金

常用配比：Ta10Zr、Ta20Zr、Ta40Zr，成分可按需定制

纯度：高纯，严控氧、碳杂质

供货形态：合金粉末、溅射靶材、板材、棒材、带材

核心特性：耐强腐蚀、高温强度高、真空吸气能力强、抗辐照、导电稳定、薄膜致密性佳

产品优势

1. 耐酸碱腐蚀能力优异，可长期耐受王水、各类强酸工况，防腐性能优于单一锆、纯钽；

2. 吸气除气效果强，能吸附真空腔内氢气、氧气等残余气体，适配高真空设备；

3. 溅射成膜均匀致密，作为扩散阻挡层可有效阻隔铜、铝等金属扩散，适配先进晶圆制程；

4. 塑性良好，易锻轧成型，可加工各类异形靶材与结构件；

5. 支持指标定制，提供质检报告；

6. 配套钽粉、锆粉、各类氮化物、硼化物粉体一站式供货。

核心应用

1. 半导体溅射靶材

芯片铜互连阻挡薄膜、精密薄膜电阻、器件防腐导电镀层。

2. 高真空电子器件

真空管、电子管吸气剂、超高真空腔体内部配件，维持腔体高真空环境。

3. 化工防腐设备

强酸反应器内衬、耐腐蚀换热件、特种耐蚀管道配件。

4. 核工业抗辐照部件

具备良好抗辐照性能，用于反应堆小型耐腐蚀结构配件。

包装储存

板材、靶材：真空铝箔密封+防震木箱

合金粉末：充氮真空袋+纸板桶

储存环境：阴凉干燥密封存放，隔绝空气水汽，远离高温。