乙醇钽 产品参数

中文名：乙醇钽（又称五乙氧基钽、乙醇钽(V)）

英文名：Tantalum(V) Ethoxide / Tantalum Pentaethoxide

分子式：C₁₀H₂₅O₅Ta（或写作Ta(OC₂H₅)₅）

分子量：406.25

CAS号：6074-84-6

EINECS号：228-010-2

外观：常温下为黄色或无色透明液体，具类似酒精气味

密度：1.566 g/mL（25℃）

熔点：21 ℃ (lit.)

沸点：155 ℃ (0.01 mmHg)

闪点：30.6 ℃ (87 ℉)

储存条件：需在2–8 ℃避光密封保存，对湿气和空气敏感

主要用途与应用领域

电子工业 - 薄膜沉积

作为化学气相沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）的关键前驱体，用于制备高纯度氧化钽（Ta₂O₅）薄膜，广泛应用于DRAM存储器、铁电电容器及半导体器件的介电层和阻障层。

功能材料合成

可通过溶胶-凝胶法合成含钽多组分氧化物功能材料，用于光学器件、催化剂载体及高温稳定材料的制备。

纳米材料制备

水解后加热可生成超细氧化钽粉末，用于生产高比表面积的电容器材料和光催化材料。

表面涂层技术

用于制备氮化钽（TaN）或氧化钽涂层，有效抑制铜在硅基板中的扩散，提升集成电路的可靠性与寿命。

新能源与光电领域

美国已利用其制备出高比面积氧化钽薄膜，表现出良好光学活性，潜在应用于太阳能电池和光催化剂。