‌          基本信息‌

• ‌分子式‌：C₁₀H₃₀N₅Ta‌13

• ‌分子量‌：401.3266‌13

• ‌CAS号‌：19824-59-0‌12

• ‌别称‌：五(二甲氨基)钽(V)、钽二甲基胺、Ta(NMe₂)₅、TADMA‌12

‌物理与化学性质‌

1. ‌物理性质‌

• ‌外观‌：橙色晶体或固体‌35

• ‌熔点‌：100°C（分解）‌35

• ‌沸点‌：100°C（0.1 mmHg条件下）‌35

• ‌密度‌：未明确报道，需实验测定。

• ‌蒸汽压‌：1520 mmHg（25°C）‌57

2. ‌化学特性‌

• 对湿度和空气敏感，需在‌充氩环境‌中储存‌47

• 易燃且具有腐蚀性，与水反应剧烈‌25

‌应用领域‌

1. ‌薄膜材料制备‌

• 作为‌CVD（化学气相沉积）和ALD（原子层沉积）前驱体‌，用于制备氮化钽（TaN）和氧化钽（Ta₂O₅）薄膜‌47。

• Ta₂O₅薄膜在‌集成电路栅电介质‌和光电器件中具有潜在应用‌47。

2. ‌催化与合成‌

• 可用作金属催化剂，参与有机合成反应‌36。

‌安全与储存‌

• ‌危险性‌：

• ‌危险类别‌：易燃液体（H228）、遇水释放可燃气体（H260）、皮肤腐蚀（H314）‌7

• ‌运输标识‌：UN 2920（8类腐蚀性物质）‌37

• ‌防护措施‌：

• 操作时需佩戴防腐蚀手套、护目镜，并在惰性气体环境中处理‌47

• 储存条件：密封、干燥、阴凉（推荐温度≤4°C）‌34

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