五（二甲基氨基）钽（CAS号：19824-59-0）

一、基本性质

1. ‌化学组成‌

• ‌分子式‌：C₁₀H₃₀N₅Ta，分子量约401.33‌13。

• ‌别名‌：五(二甲氨基)钽(V)、PDMAT、TADMA、Ta(NMe₂)₅‌13。

二、物理性质

1. ‌外观与形态‌

• 橙色晶体或粉末状固体‌34。

• 熔点：约100°C（分解）‌45；沸点：常压下6.1°C，0.1 mmHg条件下100°C‌45。

2. ‌溶解性与储存‌

• 易溶于有机溶剂，需在充氩气、避光、干燥环境中保存‌37。

三、应用领域

1. ‌薄膜材料制备‌

• 作为化学气相沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）前驱体，用于制备氮化钽（TaN）及氧化钽（Ta₂O₅）薄膜，应用于集成电路栅极介电层、光学涂层等领域‌67。

2. ‌催化与合成‌

• 在有机金属反应中作为催化剂或中间体，用于合成含钽功能材料‌35。

四、安全与危险性

1. ‌危险性描述‌

• ‌GHS标识‌：易燃固体（H228）、遇水释放自燃气体（H260）、腐蚀性（H314）‌58。

• 操作需佩戴防护装备（手套、护目镜），远离火源及潮湿环境‌57。

2. ‌储存与运输‌

• 密封保存于阴凉处（推荐室温或2-8°C），以25千克/桶或克级包装为主‌