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叔丁醇铪（Hafnium tert-butoxide）

1. ‌基本信息‌

• ‌分子式‌：C₁₆H₃₆HfO₄

• ‌CAS号‌：2172-02-3‌14

• ‌分子量‌：470.94–470.945 g/mol‌14

• ‌别名‌：丁氧铪、四叔丁氧基铪、四(叔丁氧基)铪‌14

2. ‌物理性质‌

• ‌外观‌：微黄色液体，气味类似酒精‌14

• ‌密度‌：1.166 g/mL（25°C）‌46

• ‌沸点‌：90°C（5 mmHg）‌46

• ‌闪点‌：83°F（约28.3°C）‌46

• ‌折射率‌：n²⁰/D 1.424‌4

3. ‌化学性质与稳定性‌

• ‌稳定性‌：需避免接触氧化物、水分及酸性物质，分解产物为一氧化碳和二氧化碳‌14

• ‌危险性‌：易燃液体（类别3），可能引起皮肤和眼睛刺激‌47

4. ‌安全与生态影响‌

• ‌储存要求‌：需密封保存，远离火源及不相容物质‌47

• ‌环境影响‌：对水有害，禁止直接排放至水体或污水系统‌14

5. ‌应用领域‌

• ‌工业用途‌：主要用于化学气相沉积（CVD）系统，作为铪源用于材料或半导体薄膜制备‌36

6. ‌供应规格‌

• ‌纯度与包装‌：市场提供99.9%及以上纯度（金属基去除Zr），包装规格包括2g、5g、10g等‌23