1. 基础化学信息

• 中文名称：四(二甲胺基)铪（IV）

• 英文名称：Tetrakis(dimethylamido)hafnium(IV)

• 分子式：C₈H₂₄HfN₄

• 分子量：354.793 g/mol

• 物理性质：

• 密度：1.098 g/mL（25°C）12

• 熔点：26-29°C14

• 沸点：6.1°C（760 mmHg）23

• 外观：无色至淡黄色晶体36

• 敏感性：易与水分、质子性溶剂快速反应，需低温干燥储存24。

2. 应用领域

• 催化剂：作为金属有机化合物（MOF），常用于化学气相沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）工艺，用于制备高纯度铪基薄膜材料146。

• 电子材料：应用于半导体制造中的介电层或栅极材料46。