四(乙基甲基胺基)铪（Tetrakis(ethylmethylamido)hafnium(IV)）综合信息

一、‌基础信息‌

• ‌分子式‌：‌C₁₂H₃₂HfN₄‌，‌分子量‌：410.9，‌CAS号‌：352535-01-4‌12。

• ‌别名‌：四(甲乙氨基)铪、四双(乙基甲基氨)铪(IV)、TEMAH等‌13。

二、‌物理性质‌

1. ‌外观与状态‌：

• 商品形态多为 ‌黄色液体‌ 或 ‌无色至淡黄色固体‌（取决于溶剂和纯度）‌12。

• ‌沸点‌：79°C（0.1 mmHg），‌熔点‌：<-50°C，‌密度‌：1.324 g/cm³，‌闪点‌：52°F（约11°C）‌26。

2. ‌溶解性‌：可溶于甲苯、乙酸乙酯等有机溶剂，但对湿气敏感‌12。

三、‌化学性质与安全性‌

• ‌稳定性‌：空气中稳定，但遇水或湿气迅速分解，释放酸性副产物‌12。

• ‌危险性‌：

• ‌易燃性‌（GHS02）：闪点低，需远离火源‌12。

• ‌刺激性‌（GHS07）：对眼睛、皮肤和呼吸系统具腐蚀性‌12。

• ‌风险术语‌：R11（高度易燃）、R14（遇水剧烈反应）、R36/37/38（刺激眼睛/皮肤/呼吸道）‌12。

• ‌安全操作‌：需佩戴防护装备，接触后立即冲洗，储存于惰性气体环境‌13。

四、‌制备方法‌

• ‌工业化生产‌：

1. 正丁基锂与N-甲基乙基胺在烷烃溶剂中反应，生成锂盐‌7。

2. 加入四氯化铪，低温反应后回流，经离心去除副产物氯化锂‌7。

3. 减压蒸馏回收溶剂并提纯产物‌7。

五、‌应用领域‌

1. ‌半导体薄膜沉积‌：

• 作为 ‌CVD/ALD工艺前驱体‌，用于沉积高介电常数氧化铪（HfO₂）或氮化铪薄膜，替代传统SiO₂栅极材料‌37。

2. ‌有机催化‌：

• 催化氧化反应、二氧化碳固定及聚合物合成‌16。