1. 基本信息

• 中文名：四(乙基甲基胺基)铪(IV)，或四(甲乙氨基)铪

• 英文名：Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium(IV)

• CAS号：352535-01-4

• 分子式：C12H32HfN4

• 分子量：410.9 134。

2. 物理化学性质

• 密度：1.324 g/mL（25°C）

• 熔点：-50°C

• 沸点：79°C（0.1 mmHg）

• 闪点：52°F（约11°C）

• 外观：无色至黄色固体 13412。

• 敏感性：对空气和水分敏感，需在2-8°C密封保存 13。

3. 危险性及安全信息

• 危险标志：

• F（易燃）

• R36/37/38（刺激眼睛、呼吸系统和皮肤）

• 安全建议：

• S26：接触眼睛后需立即冲洗并就医 1315。

• 运输分类：UN3398（4.3类/PG2）1115。

4. 应用领域

• CVD/ALD前驱体：用于制备铪基薄膜材料，适用于半导体器件（如高介电材料）和光学涂层 417。

• 催化剂：可能参与有机合成反应中的催化过程 4。