二异丙胺硅烷

一、基础信息

  • 中文名‌:二异丙胺硅烷

  • 英文名‌:Di-iso-propylaminosilane(DIPAS)

  • CAS号‌:908831-34-5 ‌13

  • 分子式‌:C₆H₁₇NSi ‌13

  • 分子量‌:131.29 ‌13

  • 别名‌:二异丙基氨基硅烷、Diisopropylaminosilane ‌68


二、物理化学性质

  • 沸点‌:140.7±23.0℃(预测值)‌23

  • 酸度系数(pKa)‌:8.05±0.70(预测值)‌23

  • 密度/熔点‌:未明确公开数据 ‌13


三、安全与储存

  • 危险分类‌:

    • GHS标识‌:H226(易燃液体)、H314(皮肤腐蚀/刺激)‌68

    • 危险类别‌:4.3(遇水释放易燃气体)‌3

  • 储存条件‌:需密封保存于干燥、低温环境,避免接触水分及酸性物质 ‌34

  • 操作防护‌:佩戴防护装备,确保通风 ‌38


四、应用领域

  • 半导体制造‌:用于化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)的晶圆薄膜沉积工艺 ‌47

  • 表面改性剂‌:改善材料表面性能 ‌4

  • 催化剂‌:参与有机合成反应 ‌57

  • 医药中间体‌:潜在用途需进一步验证 ‌57



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