分子式 ‌C₈H₂₂N₂Si‌ 的化合物解析

一、核心化合物

1. ‌双(叔丁基氨基)硅烷‌（CAS 186598-40-3）

• 密度：0.816 g/cm³

• 沸点：167°C

• 闪点：30°C

• 分子量：174.359‌13

• ‌别名‌：N,N'-二(2-甲基-2-丙基)硅烷二胺‌13

• ‌物理性质‌：

• ‌应用‌：金属催化剂前驱体，适配贵金属催化反应‌16。

2. ‌双(二乙基氨基)硅烷‌（CAS 27804-64-4）

• 密度：0.804 g/cm³

• 沸点：188.5±23.0°C（760 Torr）

• 闪点：67.8±22.6°C

• 分子量：174.36‌24

• ‌物理性质‌：

• ‌特性‌：对空气和湿气敏感，水解生成二氧化硅薄膜‌8。

• ‌应用‌：原子层沉积（ALD）前驱体，用于半导体器件涂层‌48。

二、物理性质对比

三、应用领域

1. ‌半导体制造‌：双(二乙基氨基)硅烷通过ALD工艺制备高纯度二氧化硅薄膜，适配先进芯片制造‌48。

2. ‌催化反应‌：双(叔丁基氨基)硅烷作为铂、钯等贵金属催化剂前驱体，用于高分子材料合成‌16。

3. ‌精细化工‌：两种化合物均可作为中间体，参与有机硅衍生物及特种化学品的生产‌18。

4.