双(叔丁基氨基)硅烷(CAS 186598-40-3)
密度:0.816 g/cm³
沸点:167°C
闪点:30°C
分子量:174.35913。
物理性质
别名:N,N'-二(2-甲基-2-丙基)硅烷二胺3。
应用:金属催化剂前驱体1。
双(二乙基氨基)硅烷(CAS 27804-64-4)
密度:0.804 g/cm³
沸点:188.5±23.0°C(760 Torr)
闪点:67.8±22.6°C
分子量:174.3624。
物理性质
特性:对空气和湿气敏感,水解生成二氧化硅薄膜8。
应用:原子层沉积(ALD)前驱体材料,用于半导体器件涂层8。
二(异丙基氨基)二甲基硅烷(CAS 6026-42-2)
结构:含二甲基硅基及两个异丙基氨基基团。
应用:有机合成中间体,精细化学品生产7。
| 密度 (g/cm³) | 0.816 | 0.804 |
| 沸点 (°C) | 167 | 188.5(760 Torr) |
| 闪点 (°C) | 30 | 67.8 |
半导体制造
双(二乙基氨基)硅烷用于制备高纯度二氧化硅薄膜,适配先进电子器件8。
催化反应
双(叔丁基氨基)硅烷作为金属催化剂前驱体,参与高分子材料合成1。
精细化工
二(异丙基氨基)二甲基硅烷用于医药中间体及特种化学品生产
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