‌双(叔丁基氨基)硅烷‌

分子式 ‌C₈H₂₂N₂Si‌ 对应的化合物解析

一、核心化合物及特性

  1. 双(叔丁基氨基)硅烷‌(CAS 186598-40-3)

    • 密度:0.816 g/cm³

    • 沸点:167°C

    • 闪点:30°C

    • 分子量:174.359‌13

    • 物理性质

    • 别名‌:N,N'-二(2-甲基-2-丙基)硅烷二胺‌3

    • 应用‌:金属催化剂前驱体‌1

  2. 双(二乙基氨基)硅烷‌(CAS 27804-64-4)

    • 密度:0.804 g/cm³

    • 沸点:188.5±23.0°C(760 Torr)

    • 闪点:67.8±22.6°C

    • 分子量:174.36‌24

    • 物理性质

    • 特性‌:对空气和湿气敏感,水解生成二氧化硅薄膜‌8

    • 应用‌:原子层沉积(ALD)前驱体材料,用于半导体器件涂层‌8

  3. 二(异丙基氨基)二甲基硅烷‌(CAS 6026-42-2)

    • 结构‌:含二甲基硅基及两个异丙基氨基基团。

    • 应用‌:有机合成中间体,精细化学品生产‌7


二、物理性质对比

特性双(叔丁基氨基)硅烷 ‌13双(二乙基氨基)硅烷 ‌28
密度 (g/cm³)0.8160.804
沸点 (°C)167188.5(760 Torr)
闪点 (°C)3067.8

三、应用领域

  1. 半导体制造

    • 双(二乙基氨基)硅烷用于制备高纯度二氧化硅薄膜,适配先进电子器件‌8

  2. 催化反应

    • 双(叔丁基氨基)硅烷作为金属催化剂前驱体,参与高分子材料合成‌1

  3. 精细化工

    • 二(异丙基氨基)二甲基硅烷用于医药中间体及特种化学品生产‌



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