中文名：三(二甲胺基)硅烷
英文名：Tris(dimethylamino)silane
CAS号：15112-89-7
分子式：C₆H₁₉N₃Si
分子量：161.32（常见值）12
别名：
N,N,N',N',N'',N''-六甲基硅三胺（IUPAC名称）1
Tris(dimethylamino)silyl1
| 密度 | 0.828-0.838 g/cm³ 12 |
| 沸点 | 145°C（常压）1；145-148°C（765 Torr）28 |
| 熔点 | <0°C（液态）27 |
| 闪点 | 25-38.4°C（差异源于测试方法）17 |
| 折射率 | 无可用数据14 |
| 外观 | 无色至浅黄色液体36 |
| 稳定性 | 需密闭于阴凉干燥环境，对湿气敏感27 |
有机硅合成
作为关键中间体用于制备高性能有机硅材料（如硅橡胶、硅树脂）36。
金属催化剂
用于贵金属催化剂的合成，适配精细化工及高分子材料反应26。
半导体涂层
潜在应用包括原子层沉积（ALD）工艺，生成二氧化硅薄膜
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