一、基本信息

• ‌分子式‌：C₁₆H₃₆HfO₄

• ‌CAS号‌：2172-02-3

• ‌分子量‌：470.94‌16

• ‌别名‌：丁氧铪、四叔丁氧基铪、Hafnium(IV) t-butoxide‌14

二、物理性质

• ‌外观‌：微黄色液体，具有类似酒精的气味‌1

• ‌密度‌：1.166 g/mL（25℃）‌4

• ‌沸点‌：90℃（5 mmHg压力下）‌14

• ‌折射率‌：n²⁰/D 1.424‌4

• ‌闪点‌：83°F（约28.3℃）‌4

三、化学性质与稳定性

• ‌反应性‌：对水微害，需避免接触地下水或污水系统；遇氧化物、水分及酸性物质可能分解，产生一氧化碳和二氧化碳‌14

• ‌储存条件‌：需密封保存，远离氧化环境‌4

四、应用领域

• ‌材料沉积‌：作为挥发性单体化合物，用于化学气相沉积（CVD）或原子层沉积（ALD）工艺‌36

五、安全信息

• ‌危险性‌：属易燃液体（类别3），可能引起皮肤和眼睛刺激‌46

• ‌防护措施‌：操作时需佩戴防护装备，确保通风良好‌

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