基本信息 中文名称:四(乙氨基)锆 别称:四(二乙氨基)锆(IV)12 英文名称:Tetrakis(Diethylamino)Zirconium12 CAS号:13801-49-512 分子式:C₁₆H₄₀N₄Zr12 分子量:379.740 g/mol1 物理化学性质 密度:1.026 g/cm³1 沸点:128°C1 熔点:< -20°C1 闪点:12°C1 LogP:3.171 安全与储存 储存条件:需密封保存,置于阴凉、干燥环境,避免接触水分和氧化物1。 应用领域 用于制备氮化锆(ZrN)和氧化锆(ZrO₂)薄膜
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