1. 基本信息‌ ‌中文名称‌：四(乙氨基)锆（别称：四(二乙氨基)锆、四(二乙氨基)锆(IV)）‌12 ‌英文名称‌： 系统命名：Tetrakis(diethylamino)zirconium‌12 缩写/别名：TEMAZ（部分文献）‌6 ‌CAS号‌：13801-49-5‌12 ‌分子式‌：C₁₆H₄₀N₄Zr‌12 ‌分子量‌：379.740 g/mol‌25 ‌2. 物理化学性质‌ ‌外观‌：浅黄色液体‌14 ‌密度‌：1.026 g/cm³‌24 ‌沸点‌：128°C（常压）‌27 ‌熔点‌：< -20°C‌24 ‌闪点‌：12°C（可燃性液体）‌24 ‌LogP‌（脂溶性）：3.17‌24 ‌溶解性‌：与水剧烈反应，释放可燃气体‌14 ‌3. 安全与储存‌ ‌危险性‌： ‌高度易燃‌（R11）‌14 ‌遇水剧烈反应‌（R14）‌14 ‌刺激眼睛、呼吸系统及皮肤‌（R36/37/38）‌1 ‌储存条件‌： 密封保存，避光、阴凉、干燥环境‌24 需惰性气体保护，远离水、氧化物及火源‌14 ‌4. 应用领域‌ ‌薄膜材料制备‌：用于化学气相沉积（CVD）制备氮化锆（ZrN）和氧化锆（ZrO₂）薄膜‌