1. 基本信息

• CAS号：308103-54-0（主要参考）812，另有其他来源提及 175923-03-23，可能因异构体或数据差异导致。

• 分子量：280.28 g/mol812。

• 结构式：包含四个乙基甲基氨基（N-EtMe）配体与钛中心原子配位814。

2. 物理化学性质

• 密度：0.923 g/mL（25°C）812。

• 沸点：80°C（0.1 mmHg）18。

• 闪点：36°F（约 2.22°C）812。

• 形态：黄色至橙色液体，具有蜡状粘性8。

• 稳定性：常温常压下稳定，但易与水分、质子溶剂快速反应（需干燥储存）18。

3. 安全与毒性

• 危险性：

• 皮肤或眼睛接触可能引发刺激14；

• 吸入可能损害呼吸道1。

• 储存条件：需置于阴凉、干燥、通风处，远离水源和氧化剂18。

4. 应用领域

• 半导体工艺：作为金属有机前驱体（MO源），用于化学气相沉积（CVD）或原子层沉积（ALD），制备钛基薄膜材料813。

• 催化领域：可能作为有机合成中的催化剂或中间体1