四(二乙氨基)钛

1. 基本信息

  • 化学式:C16H40N4Ti

  • 分子量:336.38

  • CAS号:4419-47-0

  • 结构特点:四个二乙氨基(-NEt₂)配体通过氮原子与钛(IV)中心配位,形成四面体结构14


2. 物理化学性质

  • 密度:0.931 g/mL(25°C)13

  • 熔点:4°C17

  • 沸点:112°C(0.1 mmHg 下)34

  • 折射率:1.5361

  • 闪点:-18°F(约-28°C,易燃液体)47

  • 敏感性:对湿气、水和质子性溶剂敏感,需严格密封保存46


3. 应用领域

  • 半导体/薄膜沉积:作为前驱体用于化学气相沉积(CVD)或原子层沉积(ALD)工艺,制备钛基薄膜(如光学涂层或半导体材料)313

  • 催化剂:在贵金属催化剂制备中作为中间体或活性组分38


4. 安全信息

  • 危险标志:易燃(F)、腐蚀性(C)、刺激性(Xi)47

  • 安全操作:需佩戴防护手套、护目镜,在通风橱中操作;避免接触湿气48

  • 运输分类:UN 3398(4.3类危险品,遇湿易燃)47


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