双(叔丁基胺)双(二甲基胺)钨

一、基本信息

  1. 分子式:C₁₂H₃₀N₄W
    分子量:414.24 1411

  2. 物理性质

    • 沸点:81°C(0.02 mmHg)

    • 密度:1.305 g/mL(25°C)

    • 形态:液态,呈粘黄色 1413

  3. 敏感性:对空气和湿气敏感,需惰性气体保护 14


二、用途与合成

  1. 主要用途

    • 作为气相沉积前驱体,用于原子层沉积(ALD)制备碳化钨(WC)和氮化钨(WN)薄膜 1611

    • 应用于微纳电子器件、催化及无机化学领域 1613

  2. 合成与包装

    • 纯度可达99.99%(痕量金属基准),常见规格为1g或5g液体包装


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